気体: 261 Terms and Phrases
- 気体
- vapour
- vapor
- gas
- Gases
- air
- gaseous
- 星気体
- astral body
- an astral body
- 完全気体
- perfect gas
- ideal gas
- 気体力学
- gas dynamics
- aerodynamics
- 実在気体
- real gas
- nonideal gas
- 理想気体
- ideal gas
- perfect gas
- 気体増幅
- gas amplification
- gas multiplication
- 気体放電
- gas discharge
- gaseous discharge
- 気体分離膜
- gas permeation membrane
- 気体廃棄物
- gaseous waste
- gaseous radioactive waste
- off-gas
- 気体拡散法
- gaseous diffusion method
- 気体曝露装置
- atmosphere exposure chamber
- 不凝縮性気体
- noncondensable gas
- 希薄気体力学
- rarefied gas dynamics
- 磁気気体力学
- magnetogas dynamics
- magneto-gas dynamics
- 発生気体分析
- evolved gas analysis
- 非圧縮性気体
- incompressible gas
- 気体網膜復位術
- pneumatic retinopexy
- 気体分子運動論
- kinetic theory of gases
- 気体溶解度係数
- gas solubility coefficient
- 気体反応の法則
- law of combining volumes
- 希薄気体熱伝達
- rarefied gas heat transfer
- 気体廃棄物処理
- off-gas treatment
- 濃い気体混合物
- a rich gas mixture
- 非爆発性の気体
- nonexplosive gases
- 圧縮気体圧力計
- compressed-gas manometer
- closed tube mercury manometer
- 気体の散逸の傾向
- the tendency of a gas to expand or escape
- 不活性気体の系列
- the series of inert gases
- 気体-電気変換器
- gas-electric transducer
- 気体冷却式原子炉
- gas-cooled reactor
- 気体の分子運動論
- kinetic theory of gas
- 気体X 線撮影法
- pneumorentgenography
- 気体拡散プラント
- gaseous diffusion plant
- 気体廃棄物の放出
- gaseous waste discharge
- release of radioactive gases to air
- 気体廃棄物処理系
- off-gas treatment system
- off-gas system
- 気体状の化石燃料
- a fossil fuel in the gaseous state
- 無色、有毒の気体
- a colorless poisonous gas
- 分子気体潤滑方程式
- molecular gas film lubrication equation
- 大気を構成する気体
- gaseous constituents of the atmosphere
- 気体廃棄物処理設備
- gaseous waste treatment systems
- off-gas treatment system
- 刺激的な無色の気体
- a pungent colorless gas
- 液体は気体より重い。
- Fluid is heavier than gas.
- 液体と気体を吸収する
- absorbs liquids and gases
- 気体を圧縮する機械装置
- a mechanical device that compresses gasses
- その気体は悪臭を放つ。
- This gas gives off a bad smell.
- 6つの不活性気体の1つ
- one of the six inert gasses
- 無色、無臭の不活性気体
- a colorless and odorless inert gas
- 液体および気体懸架方式
- hydro-pneumatic suspension
- 空気は気体の混合物だ。
- Air is a mixture of gases.
- 不活性気体の中で最も重い
- the heaviest of the inert gasses
- 気体状の炭化水素C4H6
- a gaseous hydrocarbon C4H6
- その気体は強い異臭を放つ。
- The gas gives off a strong, bad smell.
- 水の蒸気は気体の状態である
- steam is water is the gaseous state
- 有毒な赤茶色の気体(NO)
- a poisonous red-brown gas (NO)
- 無色で腐食性の気体(HCl)
- a colorless corrosive gas (HCl)
- 6つの不活性気体のうちの1つ
- one of the six inert gases
- 高速で気体を伝わる高圧の部分
- a region of high pressure travelling through a gas at a high velocity
- 湿気を吸収する(気体として)
- absorbing moisture (as from the air)
- 原形の気体放出型部ブラウン管
- the original gas-discharge cathode-ray tube
- ろ過器を通された気体または液体
- a gas or liquid that has been passed through a filter
- 水は温められると、気体になる。
- When water is heated, it turns into gas.
- 液体あるいは気体の不安定な流れ
- unstable flow of a liquid or gas
- 吸い込んだり触れると有毒な気体
- used in chemical warfare
- 固体か気体が液体に変化すること
- the conversion of a solid or a gas into a liquid
- 空気は数種の気体の混合物である。
- Air is a mixture of several gases.
- 溶存物質(気体性のものを除く。)
- Dissolved matter (exclusive of gaseous matter)
- 気体の圧力を比較するための圧力計
- a pressure gauge for comparing pressures of a gas
- 気体の力学的性質を扱う力学の分野
- the branch of mechanics that deals with the mechanical properties of gases
- 気体が逃げながら泡立っている過程
- the process of bubbling as gas escapes
- 石油や気体を掘るために用いられる
- rig used in drilling for oil or gas
- 推進剤として利用できる、高圧の気体
- gas at a high pressure that can be used as a propellant
- 一酸化炭素、水素、窒素から成る気体
- a gas made of carbon monoxide and hydrogen and nitrogen
- 無色、無臭のアルカンの気体で燃料用
- a colorless odorless alkane gas used as fuel
- 鉄触媒作用による気体窒素の化学吸収
- chemisorption of gaseous nitrogen on iron catalysts
- 気体用流量計の校正方法及び試験方法
- Procedures of calibration and testing for gas flowmeter
- 沸点に達し、液体から気体へ変化する
- come to the boiling point and change from a liquid to vapor
- 気体から液体や固形状態へと変わる過程
- the process of changing from a gaseous to a liquid or solid state
- 気体中に散在している固体や液体の粒子
- a cloud of solid or liquid particles in a gas
- 空気はさまざまな気体の混合物である。
- Air is a mixture of various gases.
- ヘリウムとアルゴンは単原子気体である
- helium and argon are monatomic gases
- 呼吸に必要な気体の混合物(特に酸素)
- a mixture of gases (especially oxygen) required for breathing
- ボトルの中に(液体か気体)を格納する
- store (liquids or gases) in bottles
- 気体と塵の複雑な雲の中での星の集まり
- a cluster of stars within an intricate cloud of gas and dust
- 可燃性の高い、無色の気体状のアルケン
- a flammable colorless gaseous alkene
- 気体または蒸気が液体になるようにする
- cause a gas or vapor to change into a liquid
- 燃料として用いられる無色、無臭の気体
- a colorless odorless gas used as a fuel
- 気体から液体へ変化し、滴として落ちる
- change from a gaseous to a liquid state and fall in drops
- エンジンから廃棄物として放出された気体
- gases ejected from an engine as waste products
- 吹き出しの間、発電機から放出される気体
- the gas leaving a generator during a blow period
- 水に溶けて臭化水素酸を生じる無色の気体
- a colorless gas that yields hydrobromic acid in solution with water
- 理想的な気体定数の計算に使用される定数
- constant used in the calculation of the ideal gas constant
- 空気は目に見えない気体の混合体である。
- Air is a mixture of gases that we cannot see.
- 物体は固体、液体、気体として存在する。
- Matter can exist as a solid, liquid, or gas.
- 石油を分解して得られる可燃性の高い気体
- a flammable gas obtained by cracking petroleum
- 6つの不活性気体の1つである無色の元素
- a colorless element that is one of the six inert gasses
- 気体中に浮遊している細かい微粒子の大群
- a cloud of fine particles suspended in a gas
- 液体または気体を運ぶための柔軟なパイプ
- a flexible pipe for conveying a liquid or gas
- アルカリや冷水に溶ける無色の気体(O3)
- a colorless gas (O3) soluble in alkalis and cold water
- 吸着または吸収で液体または気体を取り込む
- take up a liquid or a gas either by adsorption or by absorption
- 空気または気体が出るまたは入ることを防ぐ
- not allowing air or gas to pass in or out
- マイクロ波放射が気体分子と反応する親装置
- a maser in which microwave radiation interacts with gas molecules
- その気体は圧縮されてボンベに詰め込まれた。
- The gas was compressed into a gas cylinder.
- アルコールとエーテルに溶けやすい無色の気体
- a colorless gas that is soluble in alcohol and ether
- 水溶液中でヨウ化水素酸を生成する無色の気体
- a colorless gas that yields hydroiodic acid in aqueous solution
- 悪臭のする流出または蒸気(特に気体廃棄物)
- a foul-smelling outflow or vapor (especially a gaseous waste)
- 天然ガスおよび石油の中に存在する無色の気体
- colorless gas found in natural gas and petroleum
- 特に液体または気体によって異常に膨張させる
- abnormally distended especially by fluids or gas
- その物質は大部分が気体が変わったものであり、
- Its matter is for the most part transmuted gas;
- 窒素と水素で合成された刺激性の気体(NH3)
- a pungent gas compounded of nitrogen and hydrogen (NH3)
- 油圧−気体式アキュムレータ−ガス封入口の寸法
- Hydraulic fluid power-Gas-loaded accumulators-Dimensions of gas ports
- 時には麻酔剤として用いられる無色の可燃性気体
- a colorless flammable gas sometimes used as an inhalation anesthetic
- 空気や他の気体を液体を通して吸い上げるポンプ
- a pump that draws air or another gas through a liquid
- 膨脹性の膜質の嚢(普通、液体または気体を含む)
- a distensible membranous sac (usually containing liquid or gas)
- 化合中の気体の体積(あるいは体積の変化)の測定
- determination of the volume of gases (or changes in their volume) during combination
- 一定した圧力の理想気体の密度は温度と逆に変わる
- the density of an ideal gas at constant pressure varies inversely with the temperature
- ガス灯(がすとう)は気体燃料の燃焼による照明。
- A gas light is illumination produced by burning a gaseous fuel.
- 熱がこの化学薬品を無害な気体に分解するだろう。
- Heat will break this chemical down into harmless gases.
- 微量の他の気体とともに水素と一酸化炭素の混合物
- a mixture of hydrogen and carbon monoxide with small amounts of other gases
- (たとえば空気や二酸化炭素の)中空の気体の小球
- a hollow globule of gas (e.g., air or carbon dioxide)
- 液体に浮かぶ、または空気や気体に浮く傾向がある
- tending to float on a liquid or rise in air or gas
- 何かを液体から気体に変えるのに熱を適用すること
- the application of heat to change something from a liquid to a gas
- 1つの相(個体か液体か気体)から他の相への変化
- a change from one state (solid or liquid or gas) to another without a change in chemical composition
- 消毒の目的であるものに気体あるいは煙をかけること
- the application of a gas or smoke to something for the purpose of disinfecting it
- 電気集塵によって、気体から塵の粒子を取り除くこと
- removes dust particles from gases by electrostatic precipitation
- 物質が直接固体から気体に変わる過程を昇華という。
- The process by which substances are turned directly from a solid state into a gas is called sublimation.
- IMO/ばら積み液体及び気体貨物に関する小委員会
- IMO/Subcommittee on Bulk Liquid and Gases
- イタリアの物理学者で、気体に対する業績で知られる
- Italian physicist noted for his work on gases
- 催涙ガスとして使用される、気体状のクロロピクリン
- gaseous form of chloropicrin used as tear gas
- 気体または液体の中で浮遊する微粒子の無作為の運動
- the random motion of small particles suspended in a gas or liquid
- 2つの異なった気団の間の境界で作られる気体の現象
- the atmospheric phenomenon created at the boundary between two different air masses
- 一定の温度の理想気体の圧力はボリュームに反比例する
- the pressure of an ideal gas at constant temperature varies inversely with the volume
- 気体の分子中で熱平衡でエネルギー分布を表現する法則
- a law expressing the distribution of energy among the molecules of a gas in thermal equilibrium
- 無色、無臭の気体元素で、真空管の中では赤い光を放つ
- a colorless odorless gaseous element that give a red glow in a vacuum tube
- 気圧や温度の差によって細い管内を気体が通過すること
- the passage of gases through fine tubes because of differences in pressure or temperature
- 固体の表面の薄いフィルムを形成する気体の分子の累積
- the accumulation of molecules of a gas to form a thin film on the surface of a solid
- 回転ばね支持形ティルティングパッド気体ジャーナル軸受
- spring supported tilting pad gas journal bearing
- 炭素の不完全燃焼の結果生じる、無臭で非常に有毒な気体
- an odorless very poisonous gas that is a product of incomplete combustion of carbon
- 流体(気体または液体)の突然の流れによって起きた騒音
- the noise produced by the sudden rush of a fluid (a gas or liquid)
- 気体と液体を向流的に流して接触させるように設計したもの
- Internal structural elements designed to propel gases and fluids in contact counter to the current
- 太平洋の天気体系は、海の連続的ななめらかさで測定される
- the weather system of the Pacific is determined by the uninterrupted smoothness of the ocean
- 突きさすことで(液体または気体を)押し込むまたは動かす
- force or drive (a fluid or gas) into by piercing
- 質量単位の物質が固体から気体に変化するとき吸収される熱
- heat absorbed by a unit mass of material when it changes from a solid to a gaseous state
- 刈ったばかりの干し草のような匂いがする、無色の有毒な気体
- a colorless poisonous gas that smells like new-mown hay
- 臨界ベンチュリノズル(CFVN)による気体流量の測定方法
- Measurement of gas flow by means of critical flow Venturi nozzles
- (クロロホルムに似た)無色の気体であるハロホルムCHF3
- colorless gas haloform CHF3 (similar to chloroform)
- 火山から放出されるガスの中に存在する有毒な気体(SO2)
- a colorless toxic gas (SO2) that occurs in the gases from volcanoes
- 質量単位の気体が凝縮して液体に変わるときの沸点で生じる熱
- heat liberated by a unit mass of gas at its boiling point as it condenses into a liquid
- 気体はランダムな動きをする小さな粒子でできているという説
- a theory that gases consist of small particles in random motion
- 気体の圧力の増加と共に、水に吸収される量が増加する気体量
- the amount of a gas that will be absorbed by water increases as the gas pressure increases
- アンモニアは、非常に強い匂いをもった液体または気体である。
- Ammonia is a colorless liquid or gas with a very strong smell.
- 気体の中で2つの電極間で放出することで光を発生させるランプ
- a lamp that generates light by a discharge between two electrodes in a gas
- 気体などが、組織、物質またはその毛穴または隙間を通り抜ける
- pass through the tissue or substance or its pores or interstices, as of gas
- 無色、無臭の不活性気体元素で、地球の大気中に微量に存在する
- a colorless odorless inert gaseous element occurring in the earth's atmosphere in trace amounts
- 表面上での吸着状態から気体もしくは液体の状態へ変化すること
- changing from an adsorbed state on a surface to a gaseous or liquid state
- 液体(流動体、または気体)の出入りができるあらゆる小さい穴
- any tiny hole admitting passage of a liquid (fluid or gas)
- 気体中のダスト試料捕集用ろ過材の形状,寸法並びに性能試験方法
- Form, size and performance testing methods of filtration media for collecting airborne particulate matters
- 2価の非金属元素で、通例無色、無臭、無味の不燃性の二原子気体
- a nonmetallic bivalent element that is normally a colorless odorless tasteless nonflammable diatomic gas
- 病害虫を消毒するまたは根絶する目的である気体を発生させる装置
- a device that generates a gas for the purpose of disinfecting or eradicating pests
- 分子運動によって生じる流体(液体もしくは気体)を通しての熱伝導
- the transfer of heat through a fluid (liquid or gas) caused by molecular motion
- 固体や気体と区別される物質の状態:相対的に低密度、低粘性である
- the state of matter distinguished from the solid and liquid states by: relatively low density and viscosity
- 単原子で構成される気体を利用することができるように設計した装置
- Equipment designed so that it is capable of utilizing monoatomic gases
- Equipment which is designed so that it is capable of utilizing monoatomic gases
- 分子間の力が発生せず、分子の体積も無視し得るような仮説上の気体
- a hypothetical gas with molecules of negligible size that exert no intermolecular forces
- 気体雰囲気中の上記混合気体の20%未満がO2であるべきである。
- The O2 should be less than 20% of the gas mixture in the gaseous atmosphere.
- 気体(特に空気)の動きと、その流れの中にある物体を扱う力学の分野
- the branch of mechanics that deals with the motion of gases (especially air) and their effects on bodies in the flow
- 通常、無臭、無色で無味の不活性の二分子の気体である共通非金属元素
- a common nonmetallic element that is normally a colorless odorless tasteless inert diatomic gas
- 気体の方程式における普遍的な定数:圧力かける体積 = Rかける温度
- the universal constant in the gas equation: pressure times volume = R times temperature
- 肺の減少した気体の交換によっておきる酸性症(肺気腫や肺炎のように)
- acidosis resulting from reduced gas exchange in the lungs (as in emphysema or pneumonia)
- 油圧−セパレータ付き気体式アキュムレータ−優先される給排油口の選択
- Hydraulic fluid power-Gas-loaded accumulators with separator-Selection of preferred hydraulic ports
- ファインセラミックス粉体の気体吸着BET法による比表面積の測定方法
- Measuring methods for the specific surface area of fine ceramic powders by gas adsorption using the BET method
- 気体雰囲気中の上記混合気体の20%未満がO2ガスであるべきである。
- The O2 gas should be less than 20% mixture in the gaseous atmosphere.
- 熱した気体をつめた大きな袋に下がった篭に乗って空を移動するための気球
- balloon for travel through the air in a basket suspended below a large bag of heated air
- 呼吸の際に、また有機物の分解によって生成される、重い無臭、無色の気体
- a heavy odorless colorless gas formed during respiration and by the decomposition of organic substances
- 鼻の嗅覚器が、気体の特定の化学物質によって刺激されることで起こる感覚
- the sensation that results when olfactory receptors in the nose are stimulated by particular chemicals in gaseous form
- 淡く気体状の形体が感知されないで四散してしまう―トーマス・カーライル
- figures light and aeriform come unlooked for and melt away- Thomas Carlyle
- 油圧−セパレータ付き気体式アキュムレータ−圧力及び容積の範囲並びに特性
- Hydraulic fluid power-Gas-loaded accumulators with separator-Ranges of pressures and volumes and characteristic quantities
- 材料を同じ温度の気体に変えるためにその沸点で材料の単位質量に吸収される熱
- heat absorbed by a unit mass of a material at its boiling point in order to convert the material into a gas at the same temperature
- 瀝青炭を乾留することによって精製される混合気体で、暖房や照明に用いられる
- gaseous mixture produced by distillation of bituminous coal and used for heating and lighting
- オーストリアの物理学者で、気体運動論に貢献した(1844年−1906年)
- Austrian physicist who contributed to the kinetic theory of gases (1844-1906)
- 独立した形や容量を持たず、無制限に広がっていくことができる、気体状の液体
- a fluid in the gaseous state having neither independent shape nor volume and being able to expand indefinitely
- ネズミや虫などを燻蒸消毒するのに用いられる有毒な気体または液体(CH3Br)
- a poisonous gas or liquid (CH3Br) used to fumigate rodents, worms, etc.
- 混合気体のかける圧力は、その混合気体の中の気体の分圧の合計に等しいとする法則
- law stating that the pressure exerted by a mixture of gases equals the sum of the partial pressures of the gases in the mixture
- 主に紙、澱粉、石鹸、小麦粉の漂白や水の純化に用いられる爆発性の気体(ClO2)
- an explosive gas (ClO2) used chiefly in bleaching paper or starch or soap or flour and in water purification
- 第 二段階24は、紫外線及びNH3気体雰囲気に半導体基盤を暴露することを含む。
- The second step 24 comprises exposing the semiconductor substrate to UV radiation and a gaseous atmosphere of NH3.
- 熱せられたり打ち付けられることにより(気体の生成など)急激な化学変化を起こす物質
- a chemical substance that undergoes a rapid chemical change (with the production of gas) on being heated or struck
- 気体間の化学反応での体積変化を測定するための、目盛り付きのガラス管から成る測定器
- measuring instrument consisting of a graduated glass tube for measuring volume changes in chemical reactions between gases
- 酸窒化膜層の形成後、半導体基盤を、紫外線、及び、NH3を含む気体雰囲気に暴露する。
- After an oxynitride layer is formed, the semiconductor substrate is exposed to UV radiation and a gaseous atmosphere containing NH3.
- ふっ素及びその他のハロゲン、酸素又は窒素からなる化合物(気体の三ふっ化窒素を除く。)
- A compound made from fluorine or other halogens, oxygen, or nitrogen (excluding nitrogen trifluoride gas)
- 青みがかった半透明の磁気液体で、気体酸素を圧縮した後、沸点以下で冷却することで得られる
- a bluish translucent magnetic liquid obtained by compressing gaseous oxygen and then cooling it below its boiling point
- 気体、液体、または、固体の体積を(直接的にまたは置換によりのどちらかで)測定するメーター
- a meter to measure the volume of gases, liquids, or solids (either directly or by displacement)
- 倉庫業(農作物を保管するもの又は貯蔵タンクにより気体若しくは液体を貯蔵するものに限る。)
- Warehousing (limited to warehousing to store farm products or to store gas or liquid in a storage tank)
- それはより多くの二酸化炭素の産出につながり、それが世界的な温暖化の原因になる主な気体なのだ。
- That would lead to the production of more carbon dioxide, the main gas responsible for global warming.
- 最も好ましくは、 上記混合気体はO2及びN2であり、上記混合気体の約5~12%がO2である。
- Most preferably, the gaseous mixture is O2 and N2, with the O2 comprising about 5 to 12% of the mixture.
- それが入っている容器の形に従って流れ、形を変える性質を持つ、連続した無定形の物質:液体または気体
- continuous amorphous matter that tends to flow and to conform to the outline of its container: a liquid or a gas
- 物、液体または気体を保持して誘導するのに使用される、長い空洞のある(通常筒状である)物で成る導管
- conduit consisting of a long hollow object (usually cylindrical) used to hold and conduct objects or liquids or gases
- 繊細な物を保護・展示したり、あるいは化学器具を覆ったり、気体を入れたりするのに用いるベル型のガラス
- a bell-shaped glass cover used to protect and display delicate objects or to cover scientific apparatus or to contain gases
- 英国の化学者で、多くの気体を分離し、(シェーレとは独立に)酸素を発見した(1733年−1804年)
- English chemist who isolated many gases and discovered oxygen (independently of Scheele) (1733-1804)
- 第三段階16は、半導体基盤をNH3気体雰囲気 に暴露しながら行う半導体基盤のアニーリング処理を含む。
- The third step 16 comprises annealing the semiconductor substrate while the substrate is exposed to a gaseous atmosphere of NH3.
- 英国の化学者で、異なる温度、異なる圧力の下で水に吸収される気体の量を研究した(1775年−1836年)
- English chemist who studied the quantities of gas absorbed by water at different temperatures and under different pressures (1775-1836)
- 有機合成やトランジスターへの不純物の添加、また毒ガス兵器として用いられる、有毒、無色で可燃性の高い気体
- a poisonous colorless flammable gas used in organic synthesis and to dope transistors and as a poison gas in warfare
- 混合気体中のある気体の圧力は、この気体が同じ温度で同体積だけ占めた場合、この気体が加える圧力と等しくなる
- the pressure of a gas in a mixture equals the pressure it would exert if it occupied the same volume alone at the same temperature
- 可燃性の高い気体状の過フッ化炭化水素で、プラスティックの製造に用いられる(ポリテトラフルオロエチレン樹脂)
- a flammable gaseous fluorocarbon used in making plastics (polytetrafluoroethylene resins)
- 第四段階18は、半導体基盤をN2O気体雰囲気に暴露しながら行う半導体基盤の更なるアニーリン グ処理を含む。
- The fourth step 18 comprises further annealing the semiconductor substrate while the substrate is exposed to a gaseous atmosphere of N2O.
- 前記半導体基盤に、O2及びN2気体雰囲気下に約30~90秒間照射することを特徴とする請求項11に記載の方法。
- The process of claim 11 , wherein the semiconductor substrate is radiated in the gaseous atmosphere of O2 and N2 for about 30 to 90 seconds.
- 最も好ましく は、上記混合気体はO2及びN2ガスであり、気体雰囲気中の上記混合気体の約2~12%がO2である。
- Most preferably, the gaseous mixture is O2 and N2, with the O2 comprising about 2 to 12% mixture in the gaseous atmosphere.
- 前記半導体基盤を、NH3気体雰囲気に暴露しながらアニールすることを更に含むことを特徴とする請求項8に記載の方法。
- The process of claim 8, further comprising annealing the semiconductor substrate while the substrate is exposed to a gaseous atmosphere of NH3.
- 前記半導体基盤を、N2O気体雰囲気に暴露しながらアニールすることを更に含むことを特徴とする請求項8に記載の方法。
- The process of claim 8, further comprising annealing the semiconductor substrate while the substrate is exposed to a gaseous atmosphere of N2O.
- 合気会系の道場では一般的に、稽古の始まりに盛平の考案による「合気体操」と呼ばれる鍛錬法を行うのが慣例となっている。
- In Aikikai-affiliated dojo, at the start of training it is customary to perform a method of discipline called 'aiki taiso,' as invented by Morihei.
- 最も好ましくは、上記気体雰囲気はO2及びN2ガスからな り、気体雰囲気中の混合気体の約2~12%がO2ガスである。
- Most preferably, the gaseous atmosphere consists of O2 and N2 gases, with the O2 gas about 2 to 12% of the mixture in the gaseous atmosphere.
- 原子、分子または基を分離させることで、または気体内の強い磁場によって原子から電子を加えまたは引き抜くことによるイオンの形成
- the formation of ions by separating atoms or molecules or radicals or by adding or subtracting electrons from atoms by strong electric fields in a gas
- 物質の伝統的な三態は、固体(形状や体積が固定している)と液体(容器によって体積や形状が固定される)と気体(容器を満たす)である
- the three traditional states of matter are solids (fixed shape and volume) and liquids (fixed volume and shaped by the container) and gases (filling the container)
- 実施例1において、湿式RCA法及びHF浸漬処理により半導体基盤表面をあらかじめ洗浄し、気体混合物を導 入してゲートスタック工程を開始した。
- In Example 1, after pre-cleaning the semiconductor substrate surface with a wet process of RCA and an HF dip treatment, a gaseous mixture was introduced to begin the gate stack processing.
- 前記気体雰囲気はO2及びN2であり、前記気体を、圧力約80~120トル、温度約100~150℃で導入することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- The process of claim 1, wherein the gaseous atmosphere is O2 and N2, and the gases are introduced at a pressure in the range of about 80 to 120 Torr and at a temperature in the range of about 100 to 150°C.
- 前記半導体基盤をO2及びN2気体雰囲気に暴露しながら、紫外線を最大光量200Wの約50%~100%で照射することを特徴とする請求項11に記載の方法。
- The process of claim 11 , wherein the UV radiation is applied at a power setting in the range of about 50 to 100% of a maximum power of 200 Watt while the semiconductor substrate is exposed to O2 and N2 gaseous atmosphere.
- 別の好ましい実施形態において、半導体基盤表面を、紫外線と、O2と、N2、NH3、N2O及びH2より選択される1種 以上の気体とを含む気体雰囲気とに同時に暴露する。
- In an alternate preferred embodiment, the semiconductor substrate surface is simultaneously exposed to UV radiation and a gaseous atmosphere contaimng O2 and one or more gases selected from N2, NH3, N2O and H2.
- 摂氏五十度で絶対圧力三百キロパスカルを超える蒸気圧を持つ物質又は摂氏二十度で絶対圧力百一・三キロパスカルにおいて完全に気体となる物質であつて、次に掲げるものをいう。
- Substance with over 300 kilopascal of evaporated gas absolute pressure at 50 degrees centigrade or substance that turns completely into gas at 20 degrees centigrade with 101.3 kilopascal of evaporated gas absolute pressure.
- 本発明によれば、半導体基盤(好ましくはシリコン半導体基盤)を、紫外線と、O2と、N2、NH3、N2O及 びH2より選択される1種以上の気体とを含む気体雰囲気とに同時に暴露して、シリコン表面を酸化する。
- According to the invention, a semiconductor substrate (preferably a silicon semiconductor substrate) is simultaneously exposed to UV radiation and a gaseous atmosphere containing O2 and one or more gases selected from N2, NH3, N2O and H2, in order to oxidize the silicon surface.
- 従来のNO 又はO2による急速加熱酸化と異なり、本発明の方法においては、半導体基盤表面を、紫外線と、O2と、N2、NH3、N2O及びH2より選択される1種以 上の気体とを含む気体雰囲気とに同時に暴露する。
- In contrast to the prior art rapid thermal NO or O2 oxidation, in our process, the semiconductor substrate surface is simultaneously exposed to UV radiation and a gaseous atmosphere containing O2 and one or more gases selected from N2, NH3, N2O and H2.
- (2) 半導体基盤表面を約30~90秒間(最も好ましくは60秒間)、流量約2000~3000SCCMのN2、NH3、N2O及びH2より選択される1種以上 の気体と混合した流量約100~500SCCMのO2ガスに暴露する。
- (2) expose the semiconductor substrate surface, for about 30 to 90 seconds, most preferably 60 seconds, to gaseous O2 at a flow rate of about 100 to 500 SCCM mixed with one or more gases selected from N2, NH3, N2O and H2 at a flow rate of about 2,000 to 3,000 SCCM.
- (2) expose the semiconductor substrate surface, for about 30 to 90 seconds, most preferably for 60 seconds, to gaseous O2 at a flow rate of about 100 to 500 SCCM mixed with one or more gases selected from N2, NH3, N2O and H2 at a flow rate of about 2,000 to 3,000 SCCM.
- 好ましく は、O2ガスは流量約100~500SCCM(基準条件における1分間当たりの流量(cm3))で、N2、NH3、N2O及び/又はH2ガスは流量約 2000~3000SCCMで導入し、気体雰囲気中の混合気体の約20%未満がO2ガスである。
- Preferably, the O2 gas is introduced at a flow rate of about 100 to 500 SCCM (Standard Cubic Centimeters per Minute), and the N2, NH3, N2O and/or H2 gas is introduced at a flow rate of about 2,000 to 3,000 SCCM, with the O2 gas comprising less than about 20% of the mixture in the gaseous atmosphere.
- 事業者は、異常化学反応その他の異常な事態により内部の気体の圧力が大気圧を超えるおそれのある容器については、安全弁又はこれに代わる安全装置を備えているものでなければ、使用してはならない。ただし、内容積が〇・一立方メートル以下である容器については、この限りでない。
- The employer shall, as regards vessels in which the pressure of gas is liable to exceed the atmospheric pressure due to an abnormal chemical reaction or other abnormal conditions, not use them unless those are provided with a safety valve or other alternative safety device. However, this shall not apply to those vessels having a volume of 0.1 m3 or less.
- ゲートスタック形成工程の1つの段階として半導体基盤表面上に酸窒化膜を形成する方法であって、前記半導体基盤を、O2と、N2、NH3、N2O及びH2からなる群より選択される1種以上の気体とを含む気体雰囲気に暴露し、かつ、前記気体雰囲気に暴露しながら前記基盤に紫外線を照射して、前記基盤表面上に酸窒化膜を形成ることを特徴とする方法。
- A process for forming an oxynitride film on the surface of a semiconductor substrate as one step in a gate stack forming process, comprising: exposing the semiconductor substrate to a gaseous atmosphere containing O2 and one or more gases selected from the group consisting of: N2, NH3, N2O and H2; and radiating the substrate with UV radiation while the substrate is exposed to said gaseous atmosphere so that an oxynitride film forms on the surface of the substrate.
- 好ましくは、上記酸窒化膜層は、上記基盤表面を(1)紫外 線(最大光量200Wの約50%~100%、好ましくは70%)、及び、(2)気体雰囲気の両方に、温度約100~150℃(好ましくは130℃)、圧力 約80~120トル(好ましくは100トル)において約30~90秒間(好ましくは60秒間)暴露することにより、上記基盤表面上に形成される。
- Preferably, the oxynitride layer is formed on the substrate surface by exposing the substrate surface both to (1) UV radiation (from about 50% to 100% power of a maximum power of 200 Watt, preferably 70% power) and (2) the gaseous atmosphere for about 30 to 90 seconds (preferably 60 seconds), at a temperature of about 100 to 150°C (preferably 130°C) and at a pressure of about 80 to 120 Torr (preferably 100 Torr).
- ゲートスタック形成工程の1つ以上の段階として半導体基盤表面上に酸窒化膜を形成する方法であって、前記半導体基盤をO2及びN2を含む気体雰囲気に暴露し、前記気体雰囲気に暴露しながら前記基盤に紫外線を照射して、前記基盤表面上に酸窒化膜を形成し、NH3気体雰囲気に暴露しながら前記基盤に紫外線を照射し、かつ、前記基盤を、急速加熱アニーリング処理によって不活性雰囲気下でアニールすることを特徴とする方法。
- A process for forming an oxynitride film on the surface of a semiconductor substrate as one or more steps in a gate stack forming process, comprising: exposing the semiconductor substrate to a gaseous atmosphere containing O2 and "N2; radiating the substrate with UV radiation while the substrate is exposed to said gaseous atmosphere so that an oxynitride film forms on the surface of the substrate; radiating the substrate with UV radiation while the substrate is exposed to a gaseous atmosphere of NH3; and annealing the substrate with a rapid thermal anneal in inert ambient.